//聚焦半导体行业
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semiconductor
半导体行业到底有多重要？
上至军用卫星和雷达，
下至普通人使用的汽车、手机、家电，
甚至是医疗器械和小孩子玩的玩具，
都离不开集成电路。
如果说在工业时代，钢铁是社会的“血液”。那么在如今高度发展的信息化社会，集成电路正在接过这个重任，成为未来强国的核心。
而对于半导体行业，受全球环境的影响2019年并不轻松。2020年作为预想中的5G建设大年，却遭受了全球疫情的“埋伏”。国内的半导体行业，也面临着前所未有的机遇和挑战。
01
国产半导体 历史性机遇
近日，半导体行业的领头羊——台积电股价暴涨超10%，市值暴涨近3000亿元。
作为高端芯片的强势供应商，技术傍身让台积电即使在疫情中，也交出了亮眼的二季度财报，高达3107亿台币*。这一切让行业更加认识到，唯有加速技术的研发，才是发展的根本。
虽然制造环节在国内仍然是瓶颈，但国内半导体也面临着被倒逼出快速成长的历史性机遇。更稳定的生产周期，更高的良率，更先进的工艺艺能，这一切都是国内行业努力的方向。
注：数字来自台积电公开财报
02
干法刻蚀，污染困扰
干法刻蚀是半导体制造工艺，是与光刻相联系的图形化（pattern）处理的一种主要工艺，是半导体制程中相当重要的步骤。
干法刻蚀的过程包括离子攻击与化学反应两部分刻蚀机制。刻蚀性气体（主要是F基和Cl基气体）在高频磁场下电离后与被刻蚀的材料发生反应从而实现刻蚀。
在实际干法刻蚀过程中，厂商一直面对一个最关键和最基本的问题——微粒子污染(Particles)。
污染成因
部分固态生成物无法由真空泵抽离反应室而附着在腔壁上,造成反应室的污染,甚至再附著在晶圆的表面而形成元件的微粒子污染,造成产品良率降低甚至报废。因此定期清理干法机台腔壁，保持机台腔壁洁净对于生产的稳定是十分重要的。
03
3M电子氟化液，洁净升级
而半导体生产中对洁净近乎苛刻的要求，3M电子氟化液 Novec™ 7100/710A/7200都能够胜任。
面对刻蚀反应中的含氟副产物，都能够用无尘布轻松擦拭去除，对碳氟聚合物的强劲溶解力，使得微粒子污染问题得到显著改善。
不仅打扫得干净，作为一款兼容性良好的惰性液体，对陶瓷覆盖金属基座也不会腐蚀。使用后快速干燥，无闪点的优势，它使用起来更加安全。
看看下面清洗前后的对比效果，是不是清爽了很多？
半导体产业是现代高科技产业的基础，
随着形势加剧，
后面的仗会越来越难打，
3M氟化液能够为半导体产业
提供更清洁的体验，
提升生产园区的整体效率，
我们期待与更多未来的希望携手，
共建产业的新生态。
原文始发于微信公众号（3M中国）：干法刻蚀更洁净，助力国内半导体制程技术攻坚
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