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一
LTCC的主要工艺流程
1
浆料制备
材料通常采用陶瓷、玻璃粉和有机粘合剂按照一定比例配方混合，制成成份均匀、性能均一的浆料。需要球磨机、砂磨、搅拌机等。
2
流延
浆料通过脱泡、消泡等，再将浆料通过流延成型制成生瓷带。对生瓷带的要求是：致密、厚度均匀和具有一定的机械强度。该工艺需要流延机设备。
3
裁片
将卷带生瓷带按照一定的尺寸进行裁切，裁切的尺寸要比所需要的尺寸略大，以便满足后面的加工。该工艺需要切片机设备。
4
冲孔
在生瓷片上以机械冲孔/激光冲孔的方式制作出用以进行电气互联的过孔、通孔。该工艺有两种方法，机械式冲孔机和激光式打孔机。
孔径大小、位置精度均将直接影响布线密度与基板质量。在生瓷片上打孔就是要求在生瓷片上形成（0.1～0.5）mm直径的通孔。打孔过程中要求对孔周围的影响要小。
推荐阅读：LTCC基板打孔工艺简介
5
填孔
将过孔填充剂填入过孔中，作为层与层之间电路连接的垂直通路，以制备多层陶瓷基板内部的过孔；
填充通孔的导体浆料与形成导电带的导体浆料的组分不同，其粘度应加以控制，充分使其凝胶化，使通孔填充饱满。该工艺需要填孔机。
6
印刷
使用丝网印刷方法，将导电浆料或介质材料印刷在生瓷片上，用以制作电气互联的导线及印制元器件（电阻、电容、压敏电阻等）；
印刷工艺参数包括刮板速度、角度、压力和柔韧性等，若印刷参数控制不当，则线条边缘呈现锯齿状，对电路性能影响较大。该工艺需要印刷机。
推荐阅读：LTCC与MLCC印刷工艺对比介绍
7
叠片
将已印刷电路图形的生瓷片按预先设计的层数和次序，依次放入紧密叠片模具中，模具上设计有与生瓷片对位孔一致的对位柱，保证对位精度。该工艺对精度要求高，一般高精度的叠片机使用进口设备。
8
等静压
为使叠层后的生瓷体在排胶烧结时不起泡分层，对生瓷体进行热压。采用等静压工艺，在一定的温度和压力下，使它们紧密粘接，形成一个完整的多层基板坯体。等静压可使层压压力均匀分布到生瓷体上，确保基板烧结收缩一致。该工艺需要层压机（均压机）设备，部分产品对压力及均匀性要求高。
9
切割
将较大面积的生瓷基板，按照各元件、模块的切割边界进行切割分离，便于进行烧结。切割机目前主要是在速度及精度上要求高，通常小尺寸产品切割难度较大。
10
排胶、烧结
将热切下来的生瓷单体放置在烧结炉内的承烧板上，设定好产品烧结的温度曲线后进行烧结。在保证温度均匀的前提下，缓慢进行加热升温，以实现产品的排胶烧结，烧结温度约850~900°C。
排胶烧结关系到瓷体中气体多少、颗粒之间的结合程度以及基板的机械强度的高低。烧结工艺的关键是烧结曲线和炉膛温度的一致性，它决定了烧结后基板的平整度和收缩率。升温速率不宜过快，否则会导致烧结后基板的平整度差、收缩率减小，甚至会发生翘曲。采用烧结炉，优化排胶升温速率和保温时间与生瓷带的尺寸、层数和金属化量的关系。
该两段通常需要先排胶再烧结，共需要排胶炉和烧结炉。
11
钎焊
将表面清洗好的工件以搭接形式装配在一起，把钎料放在接头间隙附近或接头间隙之间。加热使钎料熔化，液态钎料与工件金属相互扩散溶解，冷凝后即形成钎焊接头。
12
测试
对烧结好的低温共烧陶瓷多层基板进行检测，以验证多层布线的连接性。主要使用探针测试仪、激光调阻设备、分选设备等。
二
LTCC主要材料和耗材
LTCC相关原料及耗材
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第三届高端电子陶瓷产业高峰论坛（江苏昆山·11月26日）
01
主要议题
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序号 |
议题 |
拟邀请单位 |
|
1 |
先进低温共烧无源集成材料和器件技术发展 |
清华大学 |
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2 |
高端电子陶瓷在汽车领域的发展应用 |
博世 |
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3 |
陶瓷覆铜板在大功率半导体的应用 |
罗杰斯 |
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4 |
LTCC射频模块的发展与应用 |
京瓷 |
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5 |
高精密叠层机应用于多层陶瓷基板介绍 |
上海住荣 |
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6 |
高性能陶瓷基板在IGBT中的应用与发展 |
比亚迪半导体 |
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7 |
应用于HTCC的高性能粉体制备 |
艾森达 |
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8 |
基于HTCC技术的发展与应用 |
佳利电子 |
|
9 |
LTCC生瓷带的环境与工艺适应性要求研讨 |
兵器214所 何中伟 |
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10 |
LTCC低介电常数粉体量产应用发展 |
中国科学院深圳先进技术研究院 颜廷楠 博士 |
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11 |
应用于低温共烧陶瓷5G射频模组材料方案 |
FERRO |
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12 |
电子陶瓷用金属浆料配套应用方案 |
常州聚和 |
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13 |
高导热陶瓷低温烧结助剂的研究 |
厦门钨业 |
如有演讲意向，请联系周小姐：18320865613（微信同电话号码）
02
拟邀请企业
通讯、基站、消费电子、汽车等终端企业；LTCC、HTCC等陶瓷基板生产企业；玻璃粉、陶瓷粉体等生瓷材料企业和导电金属导体材料企业；陶瓷流延机、激光切割、自动化组装、烧结、印刷等设备企业；网版、载带、保护膜等耗材企业；检测、科研院所、高校机构等。
部分报名名单（更新至09.24）：
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姓名 |
公司名称 |
职位 |
|
陈** |
华为 |
研发 |
|
童** |
苏州艾福电子股份有限公司 |
PM |
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朱** |
苏州艾福电子股份有限公司 |
市场总监 |
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朴** |
苏州艾福电子股份有限公司 |
研发经理 |
|
于** |
强一半导体（苏州）有限公司 |
副总 |
|
侯** |
强一半导体（苏州）有限公司 |
经理 |
|
夏** |
强一半导体（苏州）有限公司 |
工程师 |
|
张** |
风华高科 |
副总经理 |
|
邓** |
广东爱晟电子科技有限公司 |
研发工程师 |
|
李** |
深圳金航芯半导体有限公司 |
副总 |
|
夏** |
赣州科盈结构陶瓷有限公司 |
销售经理 |
|
彭** |
赣州科盈结构陶瓷有限公司 |
副总 |
|
刘** |
赣州科盈结构陶瓷有限公司 |
经理 |
|
宋** |
赣州科盈结构陶瓷有限公司 |
销售经理 |
|
刘** |
赣州科盈结构陶瓷有限公司 |
业务员 |
|
邓** |
昆山长盈精密 |
总监 |
|
戴** |
浙江德汇电子陶瓷有限公司 |
副总经理 |
|
严** |
安徽中创电子信息材料/合肥回创材料科技有限公司 |
项目经理 |
|
王** |
无锡银硅新能源科技有限公司 |
总经理 |
|
李** |
圣诺普科（上海）有限公司 |
部长 |
|
李** |
福建俊杰新材料科技股份有限公司 |
总工 |
|
李** |
福建俊杰新材料科技股份有限公司 |
董事长 |
|
甄** |
福建俊杰新材料科技股份有限公司 |
总经理 |
|
崔** |
宜兴市山佳电子科技有限公司 |
经理 |
|
王** |
上海网谊光电科技有限责任公司 |
总经理 |
|
何** |
上海博立尔化工有限公司 |
项目经理 |
|
周** |
上海琪聚新材料有限公司 |
CEO |
|
刘** |
上海住荣科技有限公司 |
副总经理 |
|
薛** |
上海住荣科技有限公司 |
总经理 |
|
张** |
苏州首镭激光科技有限公司 |
总经理 |
|
徐** |
合肥费舍罗热工装备有限公司 |
销售工程师 |
|
张** |
合肥费舍罗热工装备有限公司 |
销售工程师 |
|
方** |
合肥费舍罗热工装备有限公司 |
营销总监 |
|
方** |
合肥费舍罗热工装备有限公司 |
销售工程师 |
|
高** |
合肥费舍罗热工装备有限公司 |
销售工程师 |
|
胥** |
北京北方华创真空技术有限公司 |
经理 |
|
王** |
昆山硕晟电子有限公司 |
总经理 |
|
朱** |
昆山硕晟电子有限公司 |
厂长 |
|
杨** |
昆山硕晟电子有限公司 |
工程经理 |
03
会议议程
04
报名方式
艾果果：13312917301（微信同电话号码），
邮箱：ab008@aibang.com；注意：每位参会者均需要提供信息；
05
收费标准
|
参会人数 |
1~2个人(单价每人) |
3个人及以上(单价每人) |
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9月24日前付款 |
2300元/人 |
2200元/人 |
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10月24日前付款 |
2400元/人 |
2300元/人 |
|
11月24日前付款 |
2500元/人 |
2400元/人 |
|
现场付款 |
2800元/人 |
2500元/人 |
★费用包括会议门票、全套会议资料、午餐、茶歇等，但不包括住宿。
06
汇款方式及账户
汇款方式及账户：（均可开增值税普通发票）
付款方式1：
公对公账户：
名称：深圳市艾邦智造资讯有限公司
账号:4425 0100 0021 0000 0867
开户行:中国建设银行股份有限公司深圳八卦岭支行
付款方式2：
扫码支付：
注意：会议费用还支持微信(绑信用卡)支付，请扫描上面二维码完成截图发给工作人员
07
赞助方案
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项目 |
项目内容 |
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主题演讲+展台 |
30分钟主题演讲 |
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3个参会名额 |
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商标展示、现场展示台1个 |
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会刊广告 |
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易拉宝/礼品赞助（2选1） |
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主题演讲 |
30分钟主题演讲 |
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现场展台 |
现场展示台，展示设备及样品、资料以及洽谈，含3个参会名额 |
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会刊广告 |
研讨会会刊，彩色全页广告（尺寸210*285mm） |
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侧屏广告 |
主讲屏幕LED两边侧屏，单边侧屏广告，展示全天会议（客户自行设计，图片尺寸以实际面积为准） |
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参会证挂绳赞助 |
印有企业标识的挂绳(独家) |
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参会证赞助 |
参会证背面单面印刷广告 |
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资料袋赞助 |
印有企业标识的资料袋 |
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桌牌赞助 |
印有企业标识的桌牌 |
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资料入袋赞助 |
企业的宣传册（不超过6P）放入参会袋子 |
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会议通讯录banner横幅广告 |
植入在本会议观众通讯录置顶的横幅广告，有效期6个月 |
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Logo展示 |
背景板logo，会刊封面logo |
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易拉宝 |
现场1个易拉宝展示 |
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礼品赞助 |
印有赞助商logo的礼品，用于赠送参会听众 |
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微信推送 |
微信公众号，覆盖18万行业专业人群，会前、会中或者会后，企业介绍以及相关软文一共1篇 |
原文始发于微信公众号（艾邦陶瓷展）：LTCC低温共烧陶瓷生工艺流程及原料和设备一览
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