7月28日上午，先进电子束晶圆检测设备项目签约活动在高新区举行。高新区党工委书记、新吴区委书记崔荣国，高新区党工委副书记、管委会副主任、新吴区委副书记、区长章金伟会见中国工程院院士丁文江一行，并出席签约仪式。区领导顾国栋、朱晓红参加活动。
电子束检测和测量技术、设备研发是IC装备、半导体制造、控制领域至关重要的核心环节之一，是集成电路技术中能够检测和测量集成电路图案结构中最小缺陷的唯一方案。本项目由中国工程院院士丁文江、中国科学院院士张泽、国内外顶尖科学家、上市公司创始人联合发起，聚焦半导体超高精度量测设备的开发、生产、销售和服务，解决中国半导体检测和量测领域的“卡脖子”难题。
原文始发于微信公众号（无锡高新区在线）：“双院士”领衔！高新区集成电路产业又添重磅项目！
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