1月12日上午，浙江大族富创得科技有限公司年产1800台半导体晶圆自动化生产专用设备建设项目投产。
据介绍，浙江大族富创得科技有限公司主要从事半导体领域的机器人及自动化设备等产品的研发、生产、测试和销售。在晶圆片传输（SORTER/EFEM）技术、标准机械界面（SMIF）技术、超洁净光罩片/EUV自动化解决方案、晶圆表面热处理工艺（Thermal Curing）、无人车（AGV）自动搬运、晶圆级洁净室自动存储系统和RFID物流追踪系统等技术上拥有国内最先进的技术。公司目前已获得22项自主知识产权，其中发明专利8项，实用新型专利14项。
本项目总投资10亿元，前期租赁政府回收的存量厂房2.7万平方米先行开展生产，日前已投产，预计2023年一季度达规。
来源：平湖新埭
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