心芯相连半导体先进铜互连设备研发项目临港研发制造中心开工

上海心芯相连半导体技术有限公司是由新阳硅密、远致星火、上海新阳共同打造的半导体高端制造设备与工艺一体的核心供应商，专注于前道大马士革金属互联工艺的开发，旨在通过自主研发打破长期国外技术壁垒，填补国内半导体先进制成电镀设备空白，完善国产化半导体装备供应产业链。

闵行开发区临港园区位于临港新片区“东方芯港”核心承载区，地理位置优越，配套设施较为齐全。通过精准对接、链式招商，目前已初步形成半导体设备、半导体材料龙头企业集聚态势，成为“东方芯港”半导体产业生态布局的关键一环。此次入驻智芯源一期的心芯相连项目专注于先进铜互联的研发和制造，而金属互联工序是集成电路生产制造中不可缺少的工艺环节，尤其是当集成电路需要更复杂的器件结构、更高的性能时，金属互联的工艺能力更显重要，心芯相连项目无疑将进一步坚实临港园区集成电路产业链。

目前，新片区已集聚集成电路企业超220家，签约投资额超2200亿元。集成电路板块已然成为临港新片区最亮眼的一张名片。临港新片区用最好最开放的政策组合拳，以资源供给和服务保障为支撑，把更多像心芯相连这样的优质企业引进临港，让临港的集成电路产业链既“全”又“尖”，更富成效地变“施工图”为“实景画”，力争在十四五期间加速壮大集成电路产业规模，全力把东方芯港建设成为国内集成电路产业生态最完整的地区。