才道自研完成国内首台12寸工业端晶圆级原子力显微镜

才道精密是国内首家全方位布局“精密超精密工业显微装备”的公司，主要聚焦半导体、泛半导体行业。在“美国禁芯”“半导体设备国产化率低”“国产替代势在必行”的大背景下，才道在2019年开始，积极布局半导体量测设备领域，迎接国内半导体大硅片先进制程产能扩大机会的到来。

原子力显微镜是三大显微工具之一（光学、电子、原子力显微镜），19世纪80年代面世，是三维成像、显微精度最高的显微工具。目前原子力显微镜的供应商，主要以国外品牌厂家为主，且国外品牌厂家，主要以小样品的科研型设备为主，能供提供大样品晶圆级的原子力显微镜的厂家，寥寥可数。

经过3年多的努力，2023年3月，才道推出了国内“工业端”12寸晶圆级原子显微镜（纳米显微镜），填补国内行业空白。该设备是半导体、泛半导体材料及器件粗糙度和关键尺寸量测不可缺少的设备之一，尤其在半导体28纳米以下的先进制程领域，量测设备的供给，国内几乎就是空白。才道精密推出12寸晶圆级原子力显微镜，对半导体设备行业来说，国产替代，意义重大。

该12寸晶圆级原子力显微镜量测的精度在纳米级，XY轴可达到0.3纳米，Z轴达到0.035纳米。扫描速度大大提高，每幅图的扫描速度在20-50秒，大大高于通常5-8分钟一副扫描速度。还有一键开启、自动换片、自动进针，双屏显示等诸多优点。详情请来电垂询。

原子力显微镜的成功开发，使得才道精密显微检测设备完成了从微米、亚微米、到纳米的完整布局。公司原有有检测和量测设备，通过集成，检测精度均可提升到纳米级别。