一片氮化硅陶瓷基片的成型之路

传统硅基半导体由于自身物理性能不足，逐渐不适应于半导体行业的发展需求，在此背景下第三代半导体应运而生，第三代半导体材料具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高、电子饱和速率高、抗辐射能力强等特点，在高频、高压、高温等工作场景中，有易散热、小体积、低能耗、高功率等明显优势，碳化硅已成为目前应用最广、市占率最高的第三代半导体材料。

氮化硅作为基板材料具有非常明显的可靠性，采用氮化硅陶瓷基片制作的AMB 陶瓷衬板，与第三代半导体衬底 SiC 晶体材料的热膨胀系数更为接近，匹配更稳定，高导热率、高力学性能的氮化硅陶瓷基片正在逐渐成为宽禁带半导体器件首选的基板材料。国内外企业也对氮化硅基片逐渐加大投入。

三种基板材料耐热循环测试

氮化硅陶瓷基片的总体生产工艺流程包括混料、球磨、脱泡、流延成型、冲压、敷粉（喷粉）、排胶、烧结、除粉清洗、磨边、扫光、研磨、超声波清洗、甩干、激光切割、质检等工序。下面一起来了解一下一片氮化硅基片的成型之路。为加强陶瓷基板及其封装行业上下游交流联动，艾邦建有陶瓷基板产业群，欢迎产业链上下游企业加入。

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1、混料、球磨、脱泡

将氮化硅粉、氧化钇粉等粉体与有机助剂进行混料，混料完成后的物料输送至球磨工序。

球磨工序包括一次球磨及二次球磨：

一次球磨目的是将固态原料与液态物料混合，球磨产物粒径较大但能形成浆液。
一次球磨后的浆液通过密闭带式输送机输送至二次球磨机内，同时向二次球磨机内按比例加入 PVB 树脂(粘结剂，保证浆料干燥后陶瓷颗粒粘接)、聚乙二醇及邻苯二甲酸二乙酯(增塑剂，使基片具有柔韧性，便于后续裁切)，二次球磨机对浆液进一步混合研磨。

球磨完毕的浆料经密闭带式输送机输送至脱泡机内利用物理方法去除其中的气泡，制得适于流延成型的具有一定胶体粘度的流延浆料。

所需设备：混料研磨机、球磨机、脱泡机

2、流延成型

流延成型工序包括流延及干燥工序。将脱泡罐与流延机进料管连接，通过氮气加压，使浆料进入流延机内，在膜带上铺展为均匀薄膜，经输送带输送至烘道中，由电加热产生的热风对浆料进行烘干，加热温度约 150~180℃，烘干过程中部分沸点较低的有机物挥发从浆料中去除，得到干燥的基板。

所需设备：流延机

3、冲压裁切

对流延成型的坯体冲压裁切，形成氮化硅生坯片。

所需设备：冲压机

4、敷粉/喷粉

通过喷粉机在坯片表面敷上一层氮化硼粉。氮化硼粉起隔离瓷片的作用，目的是确保烧结过程中瓷片不会相互粘结。

所需设备：喷粉机

5、排胶

将敷粉后的坯体送入排胶炉中，在 500~700℃下排胶炉对坯体进行排胶处理，使有机助剂在排胶过程中挥发、分解而从坯体中去除。

所需设备：脱脂炉/排胶炉

6、烧结

烧结是通过高温加热粉体材料产生颗粒粘结、再结晶等物理化学过程得到致密化的具有一定强度的块状产品工艺。将排胶后的陶瓷坯体置于气氛气压烧结炉内，烧结过程采用氮气保护。

所需设备：烧结炉

7、除粉清洗

通过抛刷及超声波清洗（采用纯水清洗）将烧结后基板表面的氮化硼层去除。或烧结后的陶瓷基片经刷洗后烘干，刷洗烘干后的陶瓷基片表面会有少量未彻底清除的粉末，需采用喷砂机进行二次清理。

所需设备：磨床、烘干机、喷砂机、超声波清洗机、

8、磨边、扫光、研磨

通过磨边、扫光、研磨等工序使得基板侧面和表面更加平整，提高产品的精度。

曲面扫光机首先向基板表面淋洗研磨液，研磨液将基板表面润湿后利用毛刷盘对基板表面进行研磨，曲面扫光可以改善基板上下表面的平行度，在后续基板进一步加工时，可以更严格地控制基板的电感和电容，提高电路的并行性。

所需设备：曲面扫光机、磨边机、抛光机

9、清洗、甩干

利用超声清洗的方式，去除瓷片表面的研磨液，清洗后的陶瓷基片通过甩干机甩干。

所需设备：超声波清洗、甩干机

10、激光切割

制成的陶瓷基片采用激光切割机切割成相应的尺寸。

所需设备：激光切割机

11、质检入库

通过目检和设备检测的方式，检验产品的外观及内部结构完整性，将符合质量要求的瓷片分选入库。

所需设备：检测设备

封面：氮化硅基板，来源：浙江正天

8月29-31日，陶瓷基板生产加工全制程解决方案将亮相深圳第五届精密陶瓷展览会，覆盖陶瓷粉体、有机助剂、研磨分散、喷雾干燥、流延成形、冲压裁切、脱脂、烧结、清洗、烘干、激光切割、研磨抛光、检测等工序。此外还有HTCC、LTCC、AMB/DPC/DBC、厚膜印刷等多种陶瓷金属化解决方案齐亮相，欢迎各位行业朋友莅临参观交流。

第五届精密陶瓷暨IGBT产业链展览会

深圳宝安国际会展中心8号馆

8月29-31日

展出2万平米、1,000个摊位、500多家展商、50,000名专业观众；汇聚IGBT产业上游供应链、精密陶瓷、电子陶瓷、陶瓷基板、陶瓷封装、LTCC/HTCC/MLCC加工产业链等产业链上下游企业！

展商名单：

展位号	公司	主营
8A01	广东鑫信智能装备有限公司	5G滤波陶瓷模具，粉末冶金模具，粉末成型压机
8A05	天通吉成机器技术有限公司	粉末成型压机
8A11	长沙建宇网印机电设备有限公司	厚膜印刷机、平面厚膜印刷机、圆管厚膜印刷机、CCD自动对位厚膜印刷机
8A11	天津中环电炉股份有限公司	排胶炉、钟罩炉、可视化热分析、烧结炉
8A19	嘉兴佳利电子有限公司	LTCC / HTCC/微波介质陶瓷元件及卫星导航组件
8A25	江苏国盛新材料有限公司	稀土氧化物及化合物
8A26	上海住荣科技有限公司	机械冲孔机、激光打孔机、丝网印刷机、叠片机、温水等静压机、生瓷片热切机、划片机、X-ray
8A27	太原忠睿合科技有限公司	冷等静压机,温等静压机,干袋式等静压机
8A33	常州普雷特印刷科技有限公司	NorCote感光胶、刮胶、太阳能刮胶、毛细水菲林
8A34	东莞金点自动化科技有限公司	高精密小冲床
8A39	田菱精密网版科技（昆山）有限公司	精密网版
8A40	江西江南新材料科技股份有限公司	电子级氧化铜粉、高纯硫酸铜、碱式碳酸铜
8A43	上海匠聚新材料有限公司	银浆、浆料
8A47	东莞市琅菱机械有限公司	研磨分散设备
8A53	合肥伊丰电子封装有限公司	封装外壳
8A54	上海网谊光电科技有限责任公司	精密不锈钢网版研发与生产, 超薄3u网版
8A57	旭化成塑料（广州）有限公司	特种工程塑料
8A67	长沙西丽纳米研磨科技有限公司	砂磨机、智能单机、全自动化研磨产线及相关配套研磨设备
8A68	中电科风华信息装备股份有限公司	LTCC/HTCC陶瓷切割和打孔样品
8A69	深圳市领创精密机械有限公司	跑台丝网印刷机
8A75	珠海诚锋电子科技有限公司	视觉外观瑕疵检测
8A77	公耀国际贸易(上海)有限公司东莞分公司	电子浆料用添加剂（分散，增稠，树脂）、硅烷偶联剂、MLCC离型膜、铜粉
8A81	合肥泰络电子装备有限公司	网带炉、钟罩炉、箱式炉、推板炉、辊道炉及配套自动化设备
8A81	合肥智热装备有限公司	钟罩炉、高温气氛箱式炉、真空气氛罐式炉、中温洁净箱式炉、热风箱式炉、热风排胶炉、废气净化炉
8A85	东莞市朗骏智能装备有限公司	发那科注塑机、发那科机器人、发那科线切割、CCD自动检测电子烟及装盘机
8A91	东莞市腾科自动化设备有限公司	高速检测机，外检机，视觉CCD
8A91	东莞市宏康机械有限公司	高精度伺服粉末成型机
8A95	华领精机（浙江）有限公司	直线电机、精密主轴、超精密机床、空气静压轴承
8A99	合肥费舍罗热工装备有限公司	脱脂炉，烧银炉，烧结炉，推板炉
8A103	滨州奥诺新材料科技有限公司	96氧化铝陶瓷基板
8A104	苏州纯尔净化科技有限公司	滤芯
8A105	合肥恒力装备有限公司	HTCC高温气氛推板炉，先进陶瓷专用辊道炉，热风箱式排胶炉，先进陶瓷专用钟罩炉，真空回流焊炉，气氛网带炉，智能柔性电镀生产线，手工精密电镀通风柜
8A109	北京天耀科技有限公司	库赛姆台式电镜
8A110	深圳市艾明博电子科技有限公司	AMB覆铜板
8A111	南通浩盛汽车科技有限公司	汽车零部件
8B01	金动力智能科技（深圳）有限公司	IC测试分选机，小颗粒高速测包机
8B07	江西创科新材料科技有限公司	氮化铝陶瓷基板、99.6%氧化铝陶瓷基板和氮化硅基板
8B08	广东汇成真空科技股份有限公司	PVD真空镀膜设备
8B11	上海煊廷丝印设备有限公司	AMB陶瓷基板印刷机，全自动LTCC印刷机，MLCC印刷机，厚膜印刷机，精密填孔/挂壁印刷机
8B13	广东创芯旗智能工业有限公司	高精密电动伺服压机
8B15	苏州锦业源自动化设备有限公司	日本东海高热：ALN粉体连续炉、SIN粉体大型台车炉、中大型真空高温炉（TV炉，TP炉）
8B16	河北高富氮化硅材料有限公司	氮化硅粉体、氮化硅基片、结构件
8B19	上海出光化学有限公司	PC聚碳酸酯、SPS间规立构聚苯乙烯、LMPP低模量聚丙烯、I-Marv加氢石油树脂
8B21	中国电子科技集团公司第四十五研究所	印刷机，填孔机，整平机，叠层机
8B25	安徽贝意克设备技术有限公司	推车炉、排胶炉、钼丝炉、热压炉
8B26	深圳市宇斯特电子有限公司	厚膜陶瓷电路
8B29	深圳市大富方圆成型技术有限公司	精密金属及塑胶产品
8B30	深圳市丁鼎陶瓷科技有限公司	陶瓷雾化芯、氧化锆陶瓷件、MIM件
8B31	株洲艾森达新材料科技有限公司	氮化铝粉体、氮化硅基板、氮化铝基板、结构件等
8B33	浙江正天新材料科技有限公司	氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板
8B34	珠海汉瓷精密科技有限公司	DPC陶瓷支架、DBC陶瓷基板、陶瓷电路板
8B35	北京东方泰阳科技有限公司	流延机
8B36	上海骄成超声波技术股份有限公司	新能源电池、功率半导体、汽车线束、橡胶轮胎、塑料包装、食品裁切等行业提供超声波设备及解决方案
8B39	梅特勒托利多科技（中国）有限公司	梅特勒托利多超越系列热分析系统：DSC TGA TMA DMA FlashDSC
8B40	珠海市南洋精密组件有限公司	MIM、CIM、PIM
8B41	深圳市鼎华芯泰科技有限公司	PCB、陶瓷基板、IC载板专业制造商
8B42	泰晟新材料科技有限公司	氮化硅、氧化铝、钛酸铝、氧化锆结构件
8B43	河南联合精密材料股份有限公司	金刚石微粉、金刚石研磨液、金刚石研磨垫
8B47	合肥品炙装备科技有限公司	工业电窑炉
8B48	安徽博为光电科技有限公司	先进封装、高低温陶瓷、半导体设备
8B49	阿尔赛（苏州）无机材料有限公司	高端脱脂烧结一体炉，气氛烧结炉
8B53	山东大科电子科技有限公司	低介电陶瓷材料，DPC
8B54	深圳市宇宸科技有限公司	PTC多层陶瓷整线设备HTCC设备LTCC设备等静压机切割机流延机裁片机填孔机印刷机叠层机等
8B55	苏州暾达智能装备有限公司	冲片机，检测机
8B56	益阳曙光沐阳电子技术有限公司	陶瓷电路板，dpc工艺
8B63	江西晶弘新材料科技有限责任公司	DPC陶瓷封装基板
8B67	泰安巨浪电子材料有限公司	陶瓷基覆铜板，柔性电子覆铜板，陶瓷金属化
8B68	安泰天龙钨钼科技有限公司	AMG20钼板
8B69	惠州市鸿通晟自动化设备有限公司	MLCC流延机
8B70	浙江亚通新材料股份有限公司	金属粉末、钎焊粉、活性钎料、磁性材料
8B71	四川六方钰成电子科技有限公司	996氧化铝基板，生瓷带，钨浆
8B72	武汉欧双光电科技股份有限公司	激光焊接机，打标机，切割机
8B75	广州柏励司研磨介质有限公司	氧化锆珠、氮化硅珠、碳化钨珠
8B77	东莞市津通自动化设备有限公司	全自动测试编带机
8B81	深圳市奔创电子有限公司	铝基线路板制造商
8B82	苏州爱华钻石工业有限公司	CBN砂轮/金刚磨盘砂轮、钻石工具/超硬磨削优势服务
8B83	杭州九朋新材料有限责任公司	纳米二氧化钵、纳米氧化铝、纳米氧化锌、特种涂料、催化剂等、各种高端纳米材料
8B85	浙江鹏孚隆科技股份有限公司	聚醚醚酮树脂及其复合改性产品
8B89	3M中国有限公司	胶带与胶黏剂
8B95	苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司	高速精密测试封装机
8B97	岳一科技有限公司	光学影像检测解决方案
8B98	广州先艺电子科技有限公司	AMB陶瓷覆铜载板
8B100	日华化学(中国)有限公司(大智化学庭装株式会社)	胶水、切割液、研磨液、抛光液、分散剂、悬浮剂、清洗剂等
8B103	舟山市金秋机械有限公司	流延设备
8B105	江阴通利光电科技有限公司	MLCC离型膜各类保护膜胶带
8B109	柘城县金鑫磨料磨具有限公司	金刚石微粉
8B110	武汉宇昌激光科技有限公司	陶瓷激光切割打孔划线一体机
8C01	深圳市索恩达电子有限公司	全自动陶瓷膜检查机
8C05	东莞市微格能自动化设备有限公司	微电子LTCC低温共烧陶瓷，MLCC多层陶瓷电容，HTCC高温共烧陶瓷生产线设备和5G陶瓷射频模块生产线
8C11	重庆华银机电开发有限公司	砂磨机（0.3—1000L）、搅拌机(0.4-132kw)、智能生产线、珠珠装卸机、圆筒清洗机、非标罐体、移动缸
8C12	苏州艾福电子通讯股份有限公司	介质滤波器、介质双工器、介质合路器、介质谐振器(TEM、TE、TM)、陶瓷天线、射频标签、陶瓷波导滤波器、陶瓷腔体滤波器
8C13	合肥市鑫仓工业设备科技有限公司	激光打标机、切割机、氦质谱检漏仪
8C14	广东康荣高科新材料股份有限公司	精密陶瓷及结构件、电器陶瓷及配件、电子陶瓷（瓷壳、瓷棒、瓷管）、5G新能源陶瓷及配件
8C15	池州信安电子科技有限公司	真空浸涂机、智能烘干机、真空烧结炉
8C19	东莞市维迅机械科技有限公司	电镀设备、阳极氧化设备、清洗设备、及相关连线自动上下料设备
8C21	苏州德龙激光股份有限公司	精密激光加工设备及激光器
8C22	河南三特炉业科技有限公司	马弗炉、电阻炉、管式炉、升降炉、台车炉、工业炉、热处理加热炉系列产品
8C25	苏州红恩新材料科技有限公司	氧化铝陶瓷纤维制品
8C26	惠丰钻石股份有限公司	金刚石微粉
8C26	深圳市康柏工业陶瓷有限公司	氧化锆/氧化铝/碳化硅/氮化硅等先进结构陶瓷专业实体生产商
8C33	浙江德龙科技有限公司	薄膜陶瓷，流延机，等静压机、冲孔机、生磁带切割机、球磨机、分切机
8C39	浙江精瓷半导体有限责任公司	DPC薄膜陶瓷电路板、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、AMB氮化硅覆铜封装材料、陶瓷制冷片
8C40	东莞市欧凡能源科技有限公司(大米云谷)
8C41	河南龙兴钛业科技股份有限公司	二氧化钛等粉体材料
8C42	南京以太通信技术有限公司	介质陶瓷粉体、介质滤波器、介质谐振器、天线、陶瓷封装管壳、氧化铝陶瓷件
8C43	合肥高歌先进电炉装备有限公司	高温高压陶瓷专用烧结炉
8C47	西安鑫乙电子科技有限公司	流延机
8C48	广东西尼科技有限公司	视觉智能选别机
8C49	柘城县施诺德钻石科技有限公司	金刚石微粉破碎料
8C50	深圳市联特佳精密科技有限公司	超高精密模具配件
8C53	河北思瑞恩新材料科技有限公司	研磨抛光材料
8C54	金业新材料科技(昆山)有限公司	陶瓷电容器瓷粉、结构陶瓷材料及制品
8C71	苏州精创光学仪器有限公司	超声波自动化设备/DBC自动缺陷检测设备/AMB陶瓷基板终检检测自动化设备
8C77	深圳市百柔新材料技术有限公司	PCB塞孔材料、PCB喷墨打印材料、PCB&PCB+导电浆料、陶瓷和玻璃基板电路、光伏材料
8C81	河北美科微晶材料有限公司	美科微晶
8C82	扬州锦润网带制造有限公司	金属丝网及网带
8C83	肇庆市宏华电子科技有限公司	薄膜流延机、薄膜丝印机、薄膜叠层机、等静压机、切割机、封端机、外观检测机、测试机、编带机等
8C95	浙江矽瓷科技有限公司	介质陶瓷材料、生瓷带
8C96	深圳市博敏电子有限公司	DPC/AMB/TFC/PCBA/特种电路板
8C98	深圳市鑫腾辉数控设备有限公司	精雕机
8C99	东莞市中微力合半导体科技有限公司	金刚石研磨垫、金刚石蜂窝垫、聚晶金刚石液
8C110	创轩(南京)激光智能科技有限公司	精密激光加工设备
8H01	德中(天津)技术发展股份有限公司	激光精密加工设备、电路板打样设备
8H05	无锡市阿特兹智能装备有限公司	喷雾干燥设备
8H05	无锡市新星源机电设备制造有限公司	单/双推板式道炉，高温单 (双)通道道炉，网带炉、真空炉
8H06	珠海粤科京华科技有限公司	96%氧化铝、99%氧化铝、氧化锆陶瓷基板、陶瓷金属化、陶瓷发热片
8H08	深圳市岗峰精密机械有限公司	高速精密冲床、高速精密自动冲床
8H11	江苏淮瓷科技有限公司	半导体集成电路陶瓷外壳
8H13	武汉赛斐尔激光技术有限公司	电子陶瓷激光划片机、电子陶瓷高速激光精密打孔机、玻璃激光精密切割机、紫外激光精密切割机
8H14	石家庄明远科技有限公司	高精密丝网版
8H19	西安航科创星电子科技有限公司	电子陶瓷材料、氧化铝陶瓷基板(LTCCHTCC)、氮化铝陶瓷基板(AlN)、氧化铝陶瓷封装管壳(LTCCHTCC)
8H20	深圳市聚晟源五金制品有限公司	铝外壳、精密件CNC为主、铝型材定制为主
8H21	深圳市金岷江智能装备有限公司	流延机
8H25	东莞市智达精密机械有限公司	外检机，测包封装，组装送料精密铝合金振动盘涉及电感，电阻，五金，贴片电子元件，密封圈光学镜头，半导体
8H26	上海福讯电子有限公司	精密印刷模板
8H29	厦门钜瓷科技有限公司	氮化铝粉体及陶瓷制品
8H33	苏州国科测试科技有限公司	LTCC&HTCC检测设备
8H39	成都旭瓷新材料有限公司	氮化铝、氧化铝、氮化硅陶瓷基板
8H47	太仓万信达化工材料有限公司	湿电子化学药水
8H48	湖南维尚科技有限公司	热等静压炉、氮化硅专用烧结炉、氮化硅陶瓷基板炉、氮化硅粉体烧结炉
8H49	深圳腾源盛科技有限公司	HTCC（高温共烧陶瓷）/LTCC（低温共烧陶瓷），生瓷带，粉体，浆料
8H50	深圳市鑫贵金银提炼技术有限公司	回收含金银钯铂铑锡铜等各类电子废料
8H53	广东汇京智能装备有限公司(原东莞市康搏智能装备有限公司)	纳米砂磨机、高速分散机&分散罐、研磨介质
8H54	东莞市精微新材料有限公司	银合金粉、合金粉体定制、钎焊粉体
8H57	深圳市盛鸿辉科技有限公司	PCB、FPC电镀设备
8H57	深圳市荣华安骏机电设备有限公司	专业陶瓷板DPC、DBC、AMB工艺自动化设备制造商；半导体引线框架精密蚀刻、铜带式镀银镀镍环形线（配自动上下料机）自动化设备制造商
8H61	上海晶材新材料科技有限公司	LTCC生瓷料带及金属导体浆料
8H67	常州速稳智能机械有限公司	压电式微小颗粒高速送料系列设备
8H69	深圳市汇旭达科技有限公司	涂布机，叠层机，精密抛磨设备，半导体材料
8H70	广东斯丹德五金通信科技股份有限公司	微型精密零件、SMD精密金属将压件
8H71	综研化学(苏州)有限公司	高分子产品/聚丙烯酸脂类涂剂；功能性有机粉体/聚丙烯酸脂类超微粉体
8H72	东莞市科诗特技术有限公司	激光切割、打孔在内的多款激光智能加工装备等
8H75	陕西欧西克电子有限公司	生产高压陶瓷电容、5G微波介质粉料、GPS天线片
8H76	深圳倍特莱福电子科技有限公司	研磨机
8H77	武汉坤元流延科技有限公司	流延机、球磨机、脱泡机、涂布机、裁片机、冲孔机、丝印机、叠片机、温等静压机、热切机等
8H81	中山市基础科技有限公司	陶瓷和金属封装基板/DPC/AMB/IMS
8H82	长沙珲泰陶瓷科技有限公司	氧化铝粉、氧化铝抛光粉、陶瓷造粒粉、无粘结剂造粒粉、5G陶瓷滤波器氧化铝粉、ZTA、电熔莫来石、硅藻土硅酸锆陶瓷珠、表面处理/喷砂材料
8H85	福建华清电子材料科技有限公司	氮化铝、氧化铝陶瓷基板
8H89	广州诺顶智能科技有限公司	LTCCHTCC生瓷带全自动AOI检测设备、薄膜电路厚膜基板全自动AOI检测设备
8H95	拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司	压力烧结炉、真空烧结炉，半导体器件用氧化炉、退火炉、LPCVD
8H96	上海热凡高温设备有限公司	3D金属打印后热处理设备、HTCC、MLCC烧结设备、真空舒焊及扩散焊热工装备
8H99	杭州兴容科技有限公司	MLCC被动元器件及陶瓷材料
8H100	上海品豫有色金属科技有限公司	有色金属，稀有金属，难溶金属，贵金属，高温耐蚀材料，精密合金，发热电阻合金材料等
8H103	湖南南国设备科技有限公司	研磨机械设备、五金产品
8H104	湖南西欧新材料有限公司	特种陶瓷
8H105	璞石精密机械制造(广州)有限公司	叠层陶瓷电容送料机的厂家
8H109	都匀双成机械设备有限公司	数控雕刻机
8H110	福州赛瑞特新材料技术开发有限公司	氮化硼陶瓷
8H111	山东国瓷功能材料股份有限公司	纳米级钛酸钡及配方粉、纳米级复合氧化锆、高热稳定性氧化铝、氮化铝、蜂窝陶瓷、喷墨打印用陶瓷墨水、陶瓷球及陶瓷轴承、陶瓷基板等
8H115	中国电子科技集团公司第二研究所	切片机、打孔机、通孔填充机、叠片机、热切机、印刷机等全线设备
8H116	深圳正阳工业清洗设备有限公司	玻璃清洗,五金冲压件清洗,金属件喷淋,工业冷水机,纯水机,镀膜线,清洗线,触控玻璃清洗
8H118	深圳市宇阳科技发展有限公司	MLCC产品
8H121	SERIA CORPORATION	陶瓷印刷机
8H123	广东中科微精光子制造科技有限公司	高精密激光高效切割/打孔
8H124	太平洋亞洲系統有限公司	丝网印刷机、自动光学检测机AOI、熔炉烧结炉、机械冲孔机
8H129	昆山皇冠研磨材料有限公司	砂带、陶瓷刷、发泡刷等
8H130	焦作众成新材料有限责任公司	氧化锆粉体、陶瓷结构件、氧化锆珠
8H131	浙江京驰科技发展有限公司	流延机、脱泡桶、过滤器
8H137	深圳市飞仕达机械设备有限公司	水平线设备
8H149	安徽瑞海新材料有限公司	电子化学品、湿制程表面处理解决方案
8H149	昆山市广程机械设备有限公司	专业研发生产制造DBC,AMB,DPC全流程湿制程设备供应商及解决方案
8H153	广东振华科技股份有限公司	真空镀膜设备
8H157	东莞产台商贸有限公司	送料机
8H158	北京宁远博纳电子科技有限责任公司	Zeiss扫描电镜Motic显微镜Zeiss影像仪
8H164	湖南宇环精密制造有限公司	数控磨床、数控研磨抛光机、活塞环专用设备、智能装备
8H159	北京宁远博纳电子科技有限责任公司	LTCC/HTCC/MLCC 机械、激光打孔机、丝网印刷机（含卷对卷）、膜厚测试仪、叠片机（含卷对卷）、等静压机、生切机、烧结炉（箱式链式）、端银机、划片机
8H163	洛阳赫特仪器设备有限公司	热分析仪器、高温电炉
8D36	苏州铼赛智能科技有限公司	3D打印机
8D49	深圳市海泰精工科技有限公司	高速检测机，外检机、陶瓷薄膜电极印刷检测设备
8D69	深圳市君鑫达电子有限公司	Type-C开发商
8D72	东莞市永佳塑胶科技有限公司	电子烟应用管材和棒材
8D85	深圳市和力泰科技集团有限公司	陶瓷精雕机、抛光机、烟包机、装盒机
8D95	深圳光华伟业股份有限公司	eSUN易生生物降解注塑料
8D110	珠海真理光学仪器有限公司	激光粒度仪/纳米粒度Zeta电位分析仪/喷雾粒度仪
8E35	东莞市泰科工程塑料有限公司	PCTG,PEEK,PA12,PC
8E35	广东渝丰高分子材料有限公司	PPS、PEI、PEEK、PPSU、PET、PBT、高温尼龙
8E36	东莞市柯睿电子有限公司	Pogo Pin， Pogo Pin连接器，精密及智能硬件精密连接器方案提供商
8E39	深圳市鑫陶窑炉设备有限公司	高温烧结炉
8E69	佛山星辉恒业供应链有限公司	PCTG,PA12,PPA,PC,透明尼龙，PA66, PA6环保颗粒
8E99	广州北晟新材料科技有限公司	稀土永磁、先进金属材料、金属注射成型、精细陶瓷、钛合金材料
8E109	宁波琳盛高分子材料有限公司	PEEK高温管
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