“可用于生产高纯度多晶硅的高绝缘氮化硅材料关键技术及应用”获院士认可，技术水平“国际领先”！
2023年9月6日，中国高科技产业化研究会和北京高科新创科技评估中心在北京组织召开了“可用于生产高纯度多晶硅的高绝缘氮化硅材料关键技术及应用” 产学研合作项目科技成果评价会。会议邀请了来自中国科学院、清华大学、工业和信息化部政策法规司、北京有色金属研究总院、中国环境监测总站、国家科技奖励办、中国化工集团等单位专家领导形成评审委员会。
专家组认为，该项目针对多晶硅生产用氧化铝绝缘件存在的力学性能低、抗热震性能较差、高温还原性气氛下绝缘强度不够、使用寿命短等不足，严重影响多晶硅生产效率和产品的品质，开发出可替代氧化铝材料的新型氮化硅特种材料制备技术及绝缘件制品，取得了多项技术创新，技术指标先进，市场占有率达到70%。
会上，李亚东院士鼓励企业，技术研发要尊重科学，尊重创新历史，摒弃概念，用科学数据严谨支撑技术创新链条，系统化对比国际同类技术，深度挖掘凝练差异化创新，精准呈现技术领先性，提高奖项、课题等申报效率。【高科新创信息中心】
原文始发于微信公众号（中高会科技成果转化综合服务平台）：【成果简讯】“可用于生产高纯度多晶硅的高绝缘氮化硅材料关键技术及应用”获院士认可，技术水平“国际领先”！
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