朗盛研发推出新型混床树脂，助力半导体行业低成本可持续生产

大家都知道，半导体芯片的生产是一个高精尖的重要产业。但不为很多人所知的是，珍贵的芯片十分“洁癖”，生产它们的过程中，有大量的工序都是在为它们“洗澡”。而这种清洗所用到的水，和我们平时的生活用水、饮用水完全不同，是没有金属离子、没有气体尘埃、没有细菌病毒、只有氢氧元素组成的“超纯水”。

近期，朗盛液体净化技术业务部研发出了一种新型混床树脂，用于半导体生产中的超纯水。与已有的Lewatit UltraPure 1296 MD混床树脂相比，新型UltraPure 1296 MD PLUS混床树脂的铁、锌和钠等金属含量更低。该产品作为半导体生产中的终端抛光过滤器，其早期安装结果已接近目前的分析检测极限。

半导体和显示器的生产需要进行复杂的水处理，以确保所用的水达到要求的纯度。因此，最新一代的晶片和微芯片对所使用的离子交换树脂系统的质量要求也相应更高。此外，新的分析系统能够分析低ppt（万亿分之一）范围内的离子。对于某些类型的离子，它们可以达到ppq（千万亿分之一）范围。要达到现代工业所需的半导体性能，可能需要多达200个处理步骤。

为此所需的超纯水，是通过复杂的多级工艺提供的。操作过程中最重要的步骤包括使用标准离子交换树脂进行常规一级脱盐、反渗透、脱气、超滤和过氧化氢去除，而最后一个阶段则是使用超纯混床树脂进行终端抛光。新型Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS 离子交换树脂就是为这最后一步专门研发的，它对整个工艺的成功至关重要。

朗盛液体净化技术业务部技术营销经理Hans-Juergen Wedemeyer表示："在德国生产的Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS离子交换树脂对国际上蓬勃发展的半导体行业而言，是实现低成本、可持续和无故障生产的重要组成部分。

经过Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS处理的超纯水，可用于微芯片生产中的蚀刻和清洗过程。Wedemeyer表示：“阴离子和阳离子交换树脂的总容量大，再生能力强，因此在去除硼、二氧化硅以及金属离子方面也具有出色的运行能力。”

此外，他还补充道：“单分散成分的微珠尺寸设计可避免阴阳离子交换树脂意外分离。由于Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS离子交换树脂采用了特殊的生产工艺，微粒和TOC的释放量极低。”

有关液体净化技术业务部产品的更多详细信息，请访问网站www.lewatit.com。