三责新材南通二期高精度高纯度半导体设备用碳化硅部件项目开工

3月15日，江苏三责新材料科技股份有限公司南通二期高精度高纯度半导体设备用碳化硅部件项目在南通开发区开工。这是继锂电池、光伏用碳化硅部件后，三责新材在半导体领域迈出的重要一步。该项目预计2026年投产，届时公司整体销售额将突破10亿元。以CORESIC® SP碳化硅材料制作的碳化硅ICP、PVD、RTA载盘、横梁和导轨等，热导率达160W/m·K以上，表面粗糙度优于10nm，具有优异的抗等离子刻蚀能力；以 CORESIC® SP 碳化硅材料为基础，结合三责特有的扩散焊接技术，精密制造的各类碳化硅吸盘，解决了关键半导体机台的零部件供应危机。

碳化硅陶瓷作为一种重要的结构陶瓷材料，凭借优异的高温力学强度、高硬度、高弹性模量、高耐磨性、高导热性、耐腐蚀性等性能，广泛应用于精细化工和制药、航空航天、石油化工、电池材料、光伏和半导体等领域。例如在光伏电池片生产领域，碳化硅陶瓷具有更高的热承载力，可经受1200摄氏度高温，耐氢氟酸腐蚀，替代石英材料作承载硅片的晶舟和舟托部件，使用时间由5个月延长至两年以上，综合性价比提高30%，节能10%以上。

三责新材长期致力于高性能碳化硅陶瓷研发、生产、销售和工程应用，产品广泛应用于精细化工和制药、航空航天、石油化工、新能源材料、电子玻璃、微电子和半导体、光伏、光学、高温工业窑炉等领域。

碳化硅悬臂桨是目前广泛应用到光伏TOPCon工艺的高温热处理核心部件，取代了已有的石英材料，使用寿命更高，通常是石英的四倍，因此整个能量会大幅度降低，是行业中非常重要的突破。TOPCon是光伏晶硅电池的一种新型工艺，有高转换效率、高量产性价比等明显优势，碳化硅陶瓷在其生产线的创新运用便是技术进步和产业升级的"幕后推手"，发展面向新能源方向潜力巨大，市场看好。

来源：三责新材、南通日报