10月22日，受省经信厅委托，浙江省经济和信息局组织召开了瑶光半导体（浙江）有限公司的浙江省首台套产品工程化攻关项目“SiC激光退火设备”专家验收会。
经过现场汇报、答疑、评审，专家组一致同意通过验收，为浙江省首台（套）装备申报工作奠定了坚实基础。这也是继“南太湖精英计划”之领军型创业团队荣誉后，企业获得的一项省级创新成果。
SiC激光退火设备-ES500系列
瑶光半导体自主研发的激光退火设备，具有扫描速度快、控制精度高、能耗低等优势，能够有效改善SiC材料的微观结构，提高器件的性能和可靠性，同时满足了市场对高品质、高效率生产的需求。该设备的成功研制，不仅满足了市场需求，也推动了半导体制造技术的进步。
产品创新点 双退火模式：局部、全局退火，开发了路径优化算法，解决了单一退火模式无法满足不同工艺下的定制退火问题； 激光自动对焦技术+ 高速光闸装置：解决了因晶圆厚度不同导致激光不能聚焦的问题，提高了晶圆退火位置精度；
保护气体填充及匀化技术：可显著提高晶圆退火区域气体保护均匀性，实现退火时形成极致的气体保护屏障隔离氧气，提升了退火效果，保持了退火一致性。
浙江省 首台“套”
浙江省“首台（套）”是指本省企业首次自主研发生产并经用户单位使用且符合省装备制造业重点领域及年度扶持重点的单台产品或成套设备，是该技术领域的标志性成果。
原文始发于微信公众号（瑶光半导体）：喜报|“SiC激光退火设备”顺利通过省首台（套）产品工程化攻关项目验收
应用终端 SIC IGBT模块 SIC模块 碳化硅衬底 IGBT芯片 分立器件 material 焊接材料 真空回流焊炉 烧结银 烧银炉 烧结炉 Ceramic substrate 铜底板 焊接设备 划片机 晶圆贴片机 灌胶机 贴片 表面处理 硅凝胶 环氧树脂 散热器 铝碳化硅 五金 键合机 键合丝 超声焊接机 陶瓷劈刀 激光设备 设备配件 PVD设备 ALD 电子浆料 CVD 导热材料 元器件 密封胶 X-Ray 配件 超声波扫描显微镜 塑胶外壳 玻璃 Plastic 线路板 equipment 散热材料 热敏电阻 点胶机 胶水 自动化设备 运动控制 封装设备 检测设备 认证检测 夹治具 清洗设备 测试设备 磨抛耗材 磨抛设备 代理 贸易 其他
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