glass substrate  技术挑战


            TGV酸碱综合腐蚀设备                   

玻璃基板

材料与工艺的变革





     玻璃基板主要用于替代传统的硅/有机基板和中介层,其应用范围覆盖了面板、IC等泛半导体领域。玻璃材质因其成本低、电学性能优越以及低翘曲率等优势,能够有效克服有机物和硅材质的缺陷,实现更稳定、更高效的连接,并降低生产成本。

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     目前,玻璃基板技术可能首先在高性能计算领域得到应用,因为这一领域的客户更愿意投资新技术以获得更高的性能。因此,玻璃基板技术的发展可能会更多地围绕AI芯片进行突破。

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   除了高性能GPU和AI产品外,玻璃基板技术本身并不新颖,因为它已在其他产品中得到成熟应用,比如早期的光通信、传感器、射频产品,尤其是显示用LED产品等。但对于先进封装技术而言,玻璃基板仍是一个相对较新的领域,还需要经历一个较长的发展过程。

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      目前,国内从事先进封装的玻璃基板工厂大多还未进入量产阶段,多数仍处于研发阶段。他们正在解决玻璃与金属层的结合力问题、填孔问题,以及未来更高层数的可靠性问题。预计到2025年底或2026年,这些工厂才能达到量产水平。在此之前,大部分工作仍将集中在研发上。



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四大关键技术挑战




玻璃基板技术虽然具有巨大的潜力和优势,但要实现其在先进封装领域的广泛应用,仍需克服众多技术挑战



高精度通孔


     目前,TGV的制作工艺包括但不限于喷砂法、聚焦放电法、等离子刻蚀法等。从玻璃基板制造工艺及行业应用来看,激光诱导刻蚀法是目前最主流的TGV制作工艺之一。其主要方法相对简单,即通过激光对玻璃进行改性处理,然后在青木酸中利用不同的时间控制来制作不同孔径的孔。


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     尽管单个或少量孔的制作可能较为简单,但当数量增加到数十万个时,难度会以几何级数增长。这也是许多TGV未能达到预期效果的原因之一。目前来看,除了玻璃基板的先进板厂在研发之外,进程比较快的是那些原本从事光电或玻璃相关工艺的工厂。
   深圳SUN RISE 2013年开始布局研发TGV腐蚀设备,到2015年第一台量产型酸碱组合式设备正式出货,到目前SUN RISE已经迭代到第四代。各方面得到大幅度优化更新适应目前的大小尺寸产品供应。

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高质量金属填充


      金属填孔TGV主要有两种工艺:一是铜浆塞孔工艺,二是电镀工艺。这两种工艺在应用场景、材料成本和性能上存在差异。选择何种工艺取决于孔径、深宽比以及对电阻率和电导率的要求。值得一提的是,铜浆塞孔技术相较于电镀工艺具有独特优势,但可能在电导率方面存在较大劣势。


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深圳SUN RISE根据现有市场电镀设备的均匀性、产能低价格高的特性,研发制造出新一代龙蛋型双面电镀、凤巢单面型电镀设备;旋风系列、飓风系列单双显影、蚀刻、剥膜设备。

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原文始发于微信公众号(深圳正阳公司):glass substrate 技术挑战

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