■ 展会现场
■ 6-8英寸碳化硅晶体及衬底片
目前，子公司SuperSiC晶瑞电子的8英寸碳化硅衬底片已批量交付一年多时间，为客户提供了高品质且可靠的碳化硅材料解决方案。SuperSiC晶瑞电子布局的产线自动化智慧车间，将进一步提升产品品质的一致性，且带来更多的降本空间，为客户提供具有竞争力的全生命周期服务，更好推动碳化硅材料在新能源汽车、新能源电网、工业控制等领域的广泛应用。
■ 8英寸衬底设备100%国产化的数字车间集成技术
此外，此次展出的升级款水平式碳化硅外延设备，气流独立分区控制系统，将晶圆掺杂和厚度的sigma/mean值优化至2%以下；搭载的自动化装载模块（C2C）及单/双腔选配方案，设备月产能提升至600片以上。该设备不仅新增配件整体拆装功能，而且可实现定制化耗材批次清洗服务，为碳化硅外延生长降本增效提供更多可能，助推晶圆生产“量”“质”齐升。
■ 升级款水平式碳化硅外延设备
未来，晶盛机电持续秉持“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”的企业使命，继续深耕半导体行业，攻坚关键核心技术，提升自主创新能力，在全球半导体产业的赛道上跑出晶盛的科技加速度，为行业的创新发展持续赋能。
原文始发于微信公众号（晶盛机电）：SEMICON JAPAN | 晶盛机电亮相2024日本东京半导体展览会
应用终端 SIC IGBT模块 SIC模块 碳化硅衬底 IGBT芯片 分立器件 material 焊接材料 真空回流焊炉 烧结银 烧银炉 烧结炉 Ceramic substrate 铜底板 焊接设备 划片机 晶圆贴片机 灌胶机 贴片 表面处理 硅凝胶 环氧树脂 散热器 铝碳化硅 五金 键合机 键合丝 超声焊接机 陶瓷劈刀 激光设备 设备配件 PVD设备 ALD 电子浆料 CVD 导热材料 元器件 密封胶 X-Ray 配件 超声波扫描显微镜 塑胶外壳 玻璃 Plastic 线路板 equipment 散热材料 热敏电阻 点胶机 胶水 自动化设备 运动控制 封装设备 检测设备 认证检测 夹治具 清洗设备 测试设备 磨抛耗材 磨抛设备 代理 贸易 其他
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