2024 年 12 月 10 日,日本特殊陶业株式会社(Niterra)的全资子公司株式会社NTK CERATEC(NTK CERATEC CO., LTD.)在宫城县富谷市举行了新工厂奠基仪式。该工厂将生产静电吸盘和结构陶瓷产品,以满足对半导体不断增长的需求,计划于 2026 财年开始运营。
静电卡盘是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具,广泛应用于半导体核心制程中,是离子注入、刻蚀、气相沉积等关键制程的核心零部件之一。NTK 在精密陶瓷领域具有丰富的经验,具备从材料开发到精加工的一体化工艺,主营业务包括半导体/液晶用的零部件、真空卡盘、静电卡盘/加热器、耐损耗零部件、耐高温零部件、制造和销售的各种精细陶瓷制品等精密机械零件。
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