打破国外垄断，江苏希太芯自主研发非接触式晶圆量测设备

杨亮亮（左一）向""510英才计划"考核组介绍非接触式晶圆量测设备。

"之前我们一直在上海做研发，等到产业化阶段开始量产了，正巧碰上南通高新区招商，我就来看了通州发展环境，没想到这一看就留下来了。"江苏希太芯科技有限公司总经理杨亮亮谈到在通州落户创业，笑称一切都是偶然。

杨亮亮是浙江一所高校的副教授，主攻机械电子工程方向，参与过半导体核心关键设备100nm步进扫描投影光刻机的研发，开发了应用于半导体设备的超精密运动控制器等，还主持参与了国家自然基金项目、省自然科学基金项目、国家科技支撑计划项目等多项科研项目。2018年，他参与研发的多功能机械整理数字化成套装备研发与产业化项目中获得行业协会"科学技术进步二等奖 "，是国内智能制造方面的行家里手。

2016年的一天，杨亮亮在与上海希太实业有限公司负责人交流的过程中发现，晶圆量测设备的研发生产在国内还属于盲区，"国内半导体企业用的晶圆量测设备主要进口德国和美国，占据了国内近90%的市场份额并赚取着高额利润，为什么不研发生产自己的晶圆量测设备呢？"有着丰富技术基础的杨亮亮看到了新的研究方向，也为今后江苏希太芯科技有限公司的诞生奠定了基础。

经过近五年的打磨，杨亮亮研发的非接触式晶圆量测设备终于成熟，解决了现有接触测量技术中晶圆表面厚度、粗糙度无法实现实时检测以及测量中容易对晶圆产生损伤的问题，"目前，我们的产品完全可以达到国外产品同等技术水平，而且售价只是它们的60%至70%，打破了国外晶圆量测设备在国内的垄断。"杨亮亮介绍，公司先后与华天、嘉盛等半导体企业签约合作，通富、长电、华为、芯德等国内知名企业也和他们有合作意向。2021年，公司前三季度含税销售实现1800万元，预计全年突破2500万元。

其实，在招商会前，杨亮亮去过其他多座城市进行考察，之所以选择通州，他坦言是受区位和政策的吸引。"通州是长三角一体化沪苏通核心三角强支点城市，交通便利、经济发达，配套政策、营商环境、产业集群和项目也比较相合，加上通州相关部门对科技人才给予了大力支持。"杨亮亮说，从企业落地开始，通州相关部门全程一站式服务，提供了"3年免租2年减半"的功能设施齐全的孵化场地和人才公寓，帮助企业申报国家、省、市、区各级人才科技项目，进行成果转化，企业成功申报并获得2020年通州区"510英才计划"、2021年南通市"江海英才计划"和2021江苏省双创计划的创业资助。

与通州的相遇是一次偶然，但经过一年多的相处，杨亮亮坚信，通州是他们将要携手共进的未来，"集成电路在通州已经形成产业群，具备良好的行业交流环境，公司将持续投入研发，努力建成国内半导体检测、量测设备制造头部企业，带动相关产业链上下游企业发展。"

文章来源：通州日报讯