PVD真空镀膜技术及其在陶瓷基板金属化的应用（附设备供应商名单）

真空镀膜是指在真空环境下，通过物理或化学手段，将金属、非金属或化合物材料转换成气态或等离子态，使其沉积于玻璃、金属、陶瓷、塑料或有机材料等固体材质表面形成薄膜的过程。

（一）

PVD真空镀膜技术简介

物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD），通过物理手段将固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子(等离子体)，在真空空间输运到基体表面并沉积成薄膜的方法，PVD 镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜和真空离子镀膜。

①真空蒸发镀膜：加热膜材使表面组分以原子团或分子团形式被蒸发出来，并沉降在基片表面形成薄膜。

②真空磁控溅射镀膜：用高能等离子体轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

③真空离子镀膜：在真空条件下，利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，在工作气体离子或被蒸发物质的离子轰击作用下，把蒸发物或其反应物沉积在被镀基片表面。

（二）

PVD真空镀膜在陶瓷基板金属化应用

根据不同运用环境采用磁控溅射，高功率脉冲磁控溅射，射频溅射等技术，直接在陶瓷基板表面沉积一定厚度的金属导电膜或电阳膜，替代传统工艺，实现高结合强度和绿色生产。

PVD真空镀膜技术及其在陶瓷基板金属化的应用（附设备供应商名单）

图 DPC陶瓷基板工艺流程

（三）

真空镀膜设备供应商介绍

广东汇成真空科技股份有限公司（301392）

PVD真空镀膜技术及其在陶瓷基板金属化的应用（附设备供应商名单）

广东汇成真空科技股份有限公司是一家以真空镀膜设备研发、生产、销售及其技术服务为主的真空应用解决方案供应商，主要产品或服务为真空镀膜设备以及配套的工艺服务支持。经过多年技术发展和经验积累，具备了完整的真空镀膜设备研发、制造能力以及镀膜工艺开发能力，可为不同行业客户提供定制化、专业化的真空镀膜设备及其工艺解决方案。

官网：https://www.hcvac.com/

广东振华科技股份有限公司

广东振华科技股份有限公司始创于1992年，总公司位于广东省肇庆市，是一家集研发、生产、销售、服务为一体的具有多项自主知识产权的高新技术企业。公司拥有三个生产基地，分别为云桂振华工业园、北岭生产基地以及蓝塘生产基地，占地面积超100亩；并拥有独立的办公科研大楼和现代标准化生产车间。广东振华科技可提供连续式镀膜生产线、磁控溅射镀膜设备、阴极电弧离子镀膜设备、硬质涂层镀膜设备、精密电子束蒸发镀膜设备、卷绕式镀膜设备等真空表面处理设备，是一家综合大型真空设备制造商。经过多年的发展，广东振华具备深厚技术沉淀，先后获得“高新技术企业”“ISO9001质量体系认证”等荣誉认证。2022年获评国家级第四批专精特新“小巨人”企业。

DPC卧式连续磁控溅射镀膜生产线适用于陶瓷基板、陶瓷电容、LED陶瓷支架等产品。

官网：https://www.zhenhuavacuum.com/

友威科技股份有限公司

友威科技成立于2002年，集合一群有多年真空经验的团队，积极投入真空溅镀制程技术及镀膜系统设计及开发，以PVD(溅镀、蒸镀、蒸溅镀)、CVD(PECVD、MOCVD、ThermalCVD)、Dry etching(ICP、RIE、Ion beam、Micro wave)技术本位出发，与客户共同讨论开发新应用，共同研究薄膜特性、制程硬件开发、可提供测试样品、量产系统规画、自动化设计、并可现有设备改造、功能提升，另提供专业客户服务团队可以满足全方位一条龙的需求。

友威科技服务产业跨足3C电子产业、PCB产业、鞋业、太阳能产业、光学产业、半导体IC产业、封装产业、触控产业、生物科技产业、车用零配件产业、LED产业、水五金产业等… 设备制造。

官网：https://www.uvat.com/

北京北方华创真空技术有限公司

北京北方华创真空技术有限公司拥有六十余年真空热处理、表面处理装备研发和制造经验，公司长期专注于高温、高压、高真空技术的研发与成果转化，自主研发的装备为新材料、新工艺、新能源等绿色制造赋能，助力各领域繁荣发展。北方华创作为国内高端装备制造的主力军，研发的真空热处理装备、气氛保护热处理装备、连续式热处理装备、晶体生长装备、镀膜装备在金属及非金属材料、真空电子、医疗、新能源(光伏、汽车、氢能、储能)、半导体材料、磁性材料等领域取得广泛应用。

官网：https://www.naura.com/

爱发科真空技术（苏州）有限公司

爱发科真空技术（苏州）有限公司是世界著名的真空设备制造商株式会社ULVAC(爱发科)在中国投资兴建的全资公司，于2003年7月在苏州工业园区设立，总投资1.035亿美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为功率器件、化合物半导体器件（功率器件及射频器件）、传感器（MEMS、红外等）、光通信及光电器件、滤波器件（SAW/BAW）、薄膜电路等行业的企业、研究所及大学提供芯片生产及研发的相关设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，太阳电池等制造行业提供世界领先的先进设备。

官网：https://www.ulvac-suzhou.com/

宁波聚膜新材料科技有限公司

宁波聚膜新材料科技有限公司（JUMO）成立于2015年，总部位于浙江省第二大城市宁波，由海外学者回国创业成立，是一家专注于真空等离子技术应用、微纳米薄膜制备、新型纳米功能材料领域的国家级高新技术企业。JUMO公司依托自主知识产权的先进技术，从事真空镀膜系统集成、真空等离子技术应用、纳米薄膜及特种功能薄膜制备整体解决方案输出,集工艺技术的研发、过程装备的设计、制造、销售于一体，为广大客户量身提供各类真空镀膜设备、设备核心部件、纳米薄膜工艺技术、镀膜代工等产品和服务。

官网：http://www.jumo-vac.com/

广东腾胜科技创新有限公司

广东腾胜科技创新有限公司是一家专业研制、销售各类真空应用设备、半导体沉积设备、锂电池材料设备以及纳米材料表面处理设备的国家级高新技术企业，在2022年，公司获评为广东省“专精特新”中小企业。腾胜所研制的卷绕式真空镀膜设备、连续式真空镀膜生产线设备、光学真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、电弧离子真空镀膜设备等多个系列设备，被广泛应用于动力电池、储能电池、半导体、光伏、消费电子、航空航天、汽车零件、机械加工、模具制造、新材料等多行业领域。

官网：https://www.tsvacuum.cn/cn/

……篇幅有限不多做介绍，欢迎留言区继续补充。艾邦建有陶瓷基板产业群，欢迎涉及汽车、LED、5G、陶瓷封装、陶瓷管壳、陶瓷基板及覆铜板生产企业；氧化铝、氮化铝、氮化硅、氧化铍、玻璃粉等陶瓷材料企业；金属铜箔、金属焊料、金属浆料等材料企业；陶瓷粉体生产配制设备、陶瓷流延机、抛光研磨设备、打孔设备、填孔设备、印刷机、镀膜设备、显影设备、烧结炉、钎焊炉、X-RAY、AOI、超声波扫描显微镜、自动化组装等加入微信群。

资料来源：

1.汇成真空招股说明书

3.各公司官网

The 7th Advanced ceramics and Power Semiconductor Industry Chain Exhibition

2025年8月26日-28日

深圳国际会展中心7号馆（宝安新馆）

The exhibition will cover 20,000 square meters, featuring 1,000 booths, over 500 exhibitors, and 50,000 professional visitors. It will gather enterprises from the IGBT/SiC power semiconductor industry chain, thermal management materials industry chain, as well as upstream and downstream companies in the precision ceramics, electronic ceramics, ceramic substrates, thin-film/thick-film ceramic circuit boards, ceramic packaging tubes and shells, and LTCC/HTCC/MLCC processing industry chains!

一、精密陶瓷产业链：

1、陶瓷器件及材料：MLCC、LTCC、HTCC、微波介质陶瓷、压电陶瓷、钛酸钡、碳酸钡、氧化钛、氧化铝、氧化锆、玻璃粉、氮化铝、LTCC介质陶瓷粉体、稀土氧化物、生瓷带等；

2、精密陶瓷：氧化锆、氧化铝、氮化铝、氮化硅、碳化硅、氧化钇、结构陶瓷、高温陶瓷、透明陶瓷、陶瓷微珠、新能源陶瓷、陶瓷轴承、陶瓷球、半导体陶瓷（搬运臂、陶瓷劈刀、静电卡盘、蚀刻环……）、3D打印陶瓷、燃料电池（SOFC）隔膜片、穿戴陶瓷、光纤陶瓷插芯、陶瓷套筒、CIM、生物陶瓷等。

3、陶瓷基板及封装外壳：陶瓷封装外壳、DPC、DBC、AMB、HTCC基板、LTCC基板、薄膜电路板、厚膜电路板、陶瓷封装基座、热沉、氧化铝、氮化铝、氮化硅、氧化铍、莫来石粉体及基板等；

4、金属材料：银粉、金粉、铜粉、镍粉、焊料（焊片、焊膏）、MLCC用内/外电极浆料、LTCC银浆、金浆、钨钼浆料、铜浆、靶材、无氧铜带、可伐合金、金属冲压件等；

5、助剂：陶瓷和导电浆料用分散剂、黏合剂、增塑剂、絮凝剂、矿化剂、消泡剂、润滑剂、烧结助剂等；

6、设备：

Ceramic processing equipment: sand mill, ball mill, vacuum degassing machine, three-roller machine, spray granulator, dry press, cast film machine, injection molding machine, 3D printer, mold, drying equipment, grinder, engraving machine, cutting machine, laser equipment, punching machine, hole filling machine, screen printing machine, laminating machine, laminating machine, isostatic press, hot cutting machine, leveling machine, debinding furnace, sintering furnace, brazing equipment, electroplating equipment, chemical plating, silver spraying machine, silver immersion machine, silver end machine, vacuum coating equipment, developing equipment, film removal equipment, etching machine, wet process equipment, plasma cleaning, ultrasonic cleaning, automation equipment, peel strength tester, AOI testing equipment, marking machine;

Packaging and testing equipment: chip mounter, wire bonding machine, capping machine, parallel seam welding capping machine, rib cutting machine, soldering equipment, laser resistance trimming machine, network analyzer, thermal cycle test equipment, thickness gauge, helium leak detector, aging equipment, appearance inspection, ultrasonic scanning microscope, X-ray inspection, laser marking, sorting equipment, package taping machine, etc.

7、耗材：离型膜、载带（塑料和纸质）、耐火材料、承烧板/匣钵（氧化铝、刚玉莫来石、氮化硼等）、承烧网、发泡胶、研磨耗材（金刚石微粉、研磨液）、精密网版、清洗剂、电镀药水等。

二、热管理产业链：

1、热管理材料：氧化铝、氮化铝、氮化硼、石墨烯、石墨、碳纳米管、空心玻璃微珠、导热粉体、散热基板、热沉（钨铜、钼铜、氮化铝、金刚石等）、铝碳化硅AlSiC、相变材料、导热凝胶、导热界面材料、导热垫片、导热胶带、灌封胶、热管/均热板；

2、散热器件：半导体制冷片（TEC）、IGBT散热器（铜、铝）、大功率晶体管散热器、通信基站散热壳体、液态金属散热器、插针式散热器等;

3、设备：压延机、涂布机、分条机、模切机、复卷机、切片机，CNC设备、压铸/冲压设备、热分析仪器、激光导热仪、导热系数仪、强度试验机、检测设备、自动化等。

三、功率半导体器件封装产业链：

1、材料：碳化硅，陶瓷衬板（DBC、AMB）、封装管壳、键合丝、散热基板（铜、铝碳化硅AlSiC）、导热硅凝胶、环氧灌封胶、焊料（预制焊片）、银膜/银膏、散热器（铜、铝）、功率引出端子（铜端子）、外壳（工程塑料PPS、PBT、高温尼龙）、清洗剂等；

2、设备及配件：真空焊接炉、贴片机、固晶机、引线键合机、X-ray、推拉力测试机、等离子清洗设备、点胶机、丝网印刷机、超声波扫描设备、动静态测试机、点/灌胶机、银烧结设备、垂直固化炉、甲酸真空共晶炉、自动封盖设备、高速插针机、弯折设备、超声波焊接机、视觉检测设备、推拉力测试机、高低温冲击设备、功率循环测试设备、打标机、检验平台、治具等；