【喜讯】：晶驰机电8英寸碳化硅电阻式长晶炉引领行业新标杆

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晶驰机电

技术创新，引领未来

此次推出的8英寸碳化硅电阻式长晶炉，是我司针对当前市场需求精心打造的先进半导体材料制备新装备。

该设备采用独特的结构设计，结合最先进的过程控制理论和自动化控制方法，实现了长晶过程中工艺参数的精准控制和设备运行的高度智能化。通过创新的热场设计，实现均匀的径向温度和宽范围精准可调的轴向温度梯度。热场稳定性高，使用寿命长，大幅提升了晶体的质量和良品率。

图2  8英寸碳化硅电阻式长晶炉

电阻法工艺：简化操作，加速普及

与传统的感应式碳化硅单晶设备相比，我司开发的电阻法SiC长晶炉简化了工艺设计流程，热场稳定性高，热场使用寿命长，多炉次生长单晶的一致性好，特别适合大尺寸碳化硅单晶生长。这一系列特点使得电阻法设备尤其适合希望快速进入SiC单晶生长领域但又缺乏深厚经验基础的企业。

图3  8英寸碳化硅验收晶片位错指标

图4  8英寸碳化硅验收晶片微管缺陷指标

小批量交付，开启合作新篇章

凭借卓越的技术性能和市场适应性，我司8英寸碳化硅电阻式长晶炉已获得多家客户认可，并正式开启了小批量交付。这不仅是客户对晶驰机电技术创新能力的肯定，也是晶驰机电市场策略精准把握的证明。公司正积极寻求与更多碳化硅衬底材料厂家的深度合作，旨在共同推动SiC材料的应用普及与技术迭代，共创行业辉煌。

携手合作，共创辉煌

晶驰机电作为浙江大学杭州国际科创中心的孵化企业，将努力弘扬求是精神，秉持创新驱动发展的理念，深化产学研合作，强化自主创新能力，不断优化产品性能，提高技术成果转化效率，扩大生产规模，以满足全球市场对高性能碳化硅材料日益增长的需求。

晶驰机电销售经理赵耀表示：“我们很高兴看到晶驰机电8英寸碳化硅电阻式长晶炉项目取得成功，这不仅是公司技术进步的表现，也是我们对市场需求快速响应的结果。我们期待与更多合作伙伴共同推动半导体行业的发展。”

本次技术突破和产品验证的成功，不仅增强了晶驰机电在国内外市场的竞争力，也为中国半导体设备制造业的发展注入了新的活力。