完整高性能材料产品组合
沉积材料
掺杂气体
选择性蚀刻液
用于清洗的配方产品
横跨材料供应链的能力
合成
纯化
包装
先进计量
小规模生产
从扩大生产到大量制造
晶圆清洁度和完整性
FOSBs
材料完整性与输送
泵
阀门
管道
接头
过滤器
Drum桶
原文始发于微信公众号（Entegris应特格微电子）：Entegris 解决方案横跨半导体制造及供应链生态系统
一颗芯片的制造工艺非常复杂，需经过几千道工序，加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群：
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