图  LTCC生瓷带  摄于浙江矽瓷展台

一、LTCC基片流延成型工艺流程

图    流延法制备LTCC基片工艺流程

二、LTCC基片的流延浆料的制备

1、流延浆料的制备要求

流延浆料是个比较复杂的系统，浆料一般由粉料、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂和功能助剂组成。一种合适的流延浆料必须满足以下几个条件：

（1）干燥过程中没有缺陷（如裂纹等）；

（2）流延片干燥后要有一定的强度，如可切割、钻孔等；

（3）流延片要有非常均匀的微观结构和光滑平整的表面；

（4）流延片中的有机物可以通过热分解后完全排除；

（5）流延片要有好的叠层性能，可用于叠层工艺；

（6）流延片要有非常好的烧结性能等。

2、流延浆料的影响因素

粉体的选择必须考虑到以下技术参数：

在溶剂的选择上首先要考虑如下几个因素：

（1）必须能够溶解分散剂、粘结剂、增塑剂和其他添加剂成份；

（2）在浆料中具有一定的化学稳定性，能够充分分散粉料而不与粉料发生反应；

（3）能够提供浆料系统合适的粘度；

（4）易于挥发与烧除；

（5）保证素坯无缺陷的固化；

（6）使用安全卫生和对环境污染少且价格便宜。

选择粘结剂应考虑的因素有：

（1）素胚膜的厚度；

（2）所选溶剂类型及匹配性，有利于溶剂挥发和不产生气泡；

（3）应易烧除，不留有残余物；

（4）能起到稳定料浆和抑制颗粒沉降的作用；

（5）要有较低的塑性转变温度，以确保在室温下不发生凝结；

（6）考虑所用基板材料的性质，要不相粘结和易于分离。

陶瓷生带用增塑剂需要的性能为：

（1）与树脂粘结剂具有良好的相容性；

（2）高的沸点和低的蒸汽压；

（3）高的可塑效率；

（4）热、光、化学的稳定；

（5）低温下良好的弯曲性；

三、LTCC基片流延工艺的控制

1、生瓷带厚度控制

2、干燥工艺优化

3、脱脂工艺优化

脱脂是通过加热时有机添加剂产生分解，分解产物扩散至表面挥发，再从表面挥发，整个过程一般在高温度发生。因此，环境气氛是重要因素。陶瓷粉体的特点决定了氧化或还原气氛的选择 。

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原文始发于微信公众号（艾邦陶瓷展）：LTCC低温共烧陶瓷基片的流延工艺及注意事项