equipment 芯源微“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖 2023-08-14 gan, lanjie 日前,2022年度辽宁省科学技术奖名单正式公布,沈阳芯源微电…