material “可用于生产高纯度多晶硅的高绝缘氮化硅材料关键技术及应用”获院士认可,技术水平“国际领先”! 2023-09-08 808, ab “可用于生产高纯度多晶硅的高绝缘氮化硅材料关键技术及应用…